精密機械制造中測量數據技術發展十分具有重要，因為我們測量的精確度會直接通過關注了成品的精度要求以及生活質量。在進行分析精密加工的時候，微細圖形設計尺寸的測量是十分常見的，它主要是指大規模的集成系統電路中的掩模板和硅片上的圖形線條寬度、線間距問題以及硅片上的線條深度的測量。
測量線寬間距的測量儀器有比較測量和直接測量兩種..
1、 比較測量法
此方法將被測量和參考材料是圖形比較，以確定所述標準模式和產生的，以實現正確的圖案，以確定制造圖案之間的差異。該方法主要適用于檢測所述掩模，使用透射光照明。
掩膜檢查儀主要研究采用的是兩種單色光源照明，紅色光和綠色光分為不同照明設計基準掩膜和被測掩膜。并分別需要經過一定倍數相同的纖顯微物鏡，成像在同一視場的像面上。由于市場基準圖形與被測圖形具有相同，合像之后，兩圖形我們完全沒有一致會呈現一個黑色。當被測圖形有缺陷時，則缺陷處會出現一些紅色文化或者企業綠色，可以通過直接通過人眼進行有效投影屏的觀測。
2、 直接測量
（1） 電視測量
電視測量是通過顯微鏡，電視攝像機所形成的電視圖像，將獲得的圖像測量成一定大小的樣品.. 主要測量數據來自電視信號，根據測量目標不同的光學特性，可以選擇不同靈敏度和分辨率的攝像機.. 此外，應根據數據處理能力的大小和速率選擇不同的存儲器和微處理器..
（2）的光電倍增管測量系統
光電倍增管測量控制系統主要是由光學電子顯微鏡、掃描狹縫、光電倍增管及使用計算機等組成。光源照明被測件，經過物鏡和輔助物鏡成像在掃描狹縫附近，被光電倍增管接收，用顯微密度計可以形成發展輪廓信息送入網絡計算機對這個目標輪廓數據進行研究分析，從而能夠確定線邊緣的位置。
（3）激光掃描系統
使用激光束的相干性來掃描物體表面。當攜帶某個標記的物體的表面，只要激光束落在標記的邊緣時，會產生衍射現象，光能量的變化。和光學系統接收光的能量轉換為電信號通過感光構件，從而精確地測量各種尺寸的標記物平面的相互位置。
（4） 掃描進行電子通過顯微鏡
掃描電子顯微鏡在小尺寸測量中的應用是一種理想的方法。 它利用高聚焦的電子束在光柵模式下掃描被測樣品，通過檢測樣品發射的二次電子來獲得線寬。 常用的電子顯微鏡有兩種：一種是透射電子顯微鏡，另一種是掃描電子顯微鏡。
