精密機械加工離子束加工的特點及應用-偉名石墨

離子束是特殊精密加工的一種傳統(tǒng)工藝，由于在機械進行加工中使用情況并不具有普遍，所以我們大家可以對于企業(yè)這種方法加工生產(chǎn)工藝技術并不能夠了解。離子束加工是在真空的環(huán)境下，將惰性氣體，通過離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速，投射到工件表面實現(xiàn)去除材料的目的。

離子束加工方法

離子束加工方法用離子束濺射去除處理，離子束濺射法，離子束注入和離子束暴露過程等。

1、 離子束濺射去除加工：這種教學方法我們可以簡稱為離子束去除加工，其加工工作原理是利用這些離子濺射，主要是由于一次濺射和二次濺射，他是一種最典型的原子、分子加工企業(yè)單位的微細加工處理方法和超精密機械加工方式方法。

2.離子束濺射鍍膜加工：這種方法是原子級，分子級的附著加工，所以有時也稱為離子束濺射附著加工.. 用加速離子從靶上打擊原子和分子，并將它們附著在工件表面形成涂層。

3、 離子束注入自己加工：這種教學方法主要就是通過電離將所要發(fā)展注入的元素，加速正離子分離，形成一個高能離子液，對工件表面可以進行不斷轟擊，離子因功能具有很大，被打入表層內(nèi)，其電荷被綜合，稱為置換原子或勁歌件的填隙原子，被留于表層中，使材料的化學組成成分、結構、性能問題產(chǎn)生巨大變化。

如圖4所示，離子束暴露：離子束曝光密度和分辨率的優(yōu)點是老年人。由于離子質(zhì)量比電子大得多，反向散射的效果小，鄰近效應是小的，因此能夠在曝光的精度精細圖案線寬。

離子束加工的特點

離子束加工在微細加工和精密加工中是一種社會最有發(fā)展前途的原子、分子加工企業(yè)單位的加工技術方法。

1.加工精度和高表面質(zhì)量：離子束加工是以微觀力效應為基礎，加工表面層不產(chǎn)生熱量，不引起機械應力和損傷.. 離子束斑直徑可達1微米以下，加工精度可達納米級。

2、加工技術材料具有廣泛：可對各種不同材料可以進行分析加工。由于我國加工工作原理是力效應，故對脆性、半導體、高分子等材料都可加工。由于信息加工是在真空下進行，故適用于加工易氧化的金屬、合金和半導體材料管理等等。

如圖3所示，濃化處理方法：離子束加工可以被移除，涂層，注射和其他處理，出現(xiàn)了各種各樣的具體方法利用這些方法中，如模制，蝕刻，稀化，曝光等的原則，在集成電路制造中占有極其重要的地位。

4、 控制性能好，易于管理實現(xiàn)企業(yè)自動化。

離子束處理在以后的發(fā)展中具有良好的前景。 可根據(jù)加工要求選擇離子束的光斑直徑和能量圈密度。 直徑小，能量密度高的離子束可用于去除加工；而直徑大，能量密度低的離子束適用于和刻蝕；直徑大，能量強的離子束適用于注入加工，可以反映其廣泛的應用范圍..