機械加工電子束的化學效應及其加工特點-偉名石墨

在機械加工生產中，許多人對電子束加工不太了解。 電子束加工主要是將高分子量材料用功率密度相對較低的電子束輻照，即使很難引起材料表面溫度的升高，也會由于入射電子與聚合物的碰撞而切斷或重新聚合分子鏈，從而使材料的分子量和化學性質發生變化，這是電子束的化學效應。 這種效應用于電子束光刻。

在電子束光刻中，電子束主要可以用來進行曝光，它有兩種不同方式：一種為電子束掃描曝光，另外就是一種是電子束投影曝光。針對電子束這種方法加工下面對鉤網就來分析具體情況介紹研究一下。

電子束的加工裝置

電子束處理裝置主要由電子槍系統，真空系統，電源系統及其控制系統。

電子槍用來進行發射技術高速電子流，它是在真空環境條件下，利用工作電流通過加熱過程中陰極可以發射電子束，經控制柵極初步研究聚焦后，由加速陽極不斷加速。陰極過程可用純鎢、鎢鉬等材料加工制成。控制柵極為財務總監有孔的圓筒，在其上加比陰極較負的偏壓，起束流強度以及控制和初步發展聚焦重要作用。在加速陽極上加比陰極為正的高壓，起吸引和加速電子流的作用。

真空系統是真空的，因為在真空中電子可以高速移動，發射陰極在高溫下不會被氧化，也可以防止被加工表面和金屬蒸氣氧化。 為了消除加工過程中金屬蒸氣對電子發射不穩定性的影響，電子束加工采用開放式真空系統，即連續提取加工過程中產生的金屬蒸氣..

控制管理系統是由聚焦技術裝置、偏轉裝置和工作臺水平位移監測裝置等組成，控制進行電子束束斑大小、方向和工件位移。

的電源系統提供電源，和各種控制電壓的加速電壓。

電子束的加工特點

1、 束徑小、能量進行密度高

電子束可以極細聚焦，同時電子束長度的最小光束直徑可達其光束直徑的幾十倍，因此可適用于深孔加工。

2、 被加工研究對象進行范圍廣

電子束加工是在熱范圍的熱和化學效應可以是小的，而且在真空中，在高的化學純度的處理，它是適合于加工各種硬，脆，可延展的金屬和非金屬材料，熱敏材料，可氧化的金屬和合金，高純度的半導體材料。因為應力在工件的加工和變形時幾乎不產生，它是適合于加工變形的部分。

3、 加工處理速度快、效率高

控制性能好，易于實現自動化

可通過磁場或電場對電子束的強度、束徑、位置信息進行發展迅速及時準確地控制，且自動化技術程度高。易于生產加工利用圖形、圓形、異型孔及窄縫等。

電子束進行加工的應用研究范圍很廣，可用來打各種孔、切槽、焊接、光刻、表面化學改性等，它既是作為一種通過精密機械加工處理方法，又是為了一種具有重要的微細加工方式方法。近年來，出現了多脈沖電子束照射等技術，使電子束加工有了更進一步的發展。